还有6个月,国产光刻机关键时刻来临!
admin
2023-07-12 12:38:02
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还有6个月,国产光刻机关键时刻来临!
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当下国内市场最为关心的技术就是光刻机 , 而出现这样的情况 , 完全是因为芯片国产化的进程所引导 , 特别是在2020年 , 《新时期促成集成电路产业和软件高质量发展的若干政策》颁布 , 提出5年实现芯片自给率70%的目标之后 , 国内的造芯势力变得越来越强大 。
而在相关扶持之下 , 我国的半导体制造产业链也是迅速爆发 , 特别是在芯片指令集架构、半导体用光刻胶等方面更是一飞冲天 , 实现了重大突破 。
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但是 , 光刻机技术却一直是国内芯片技术之中被重点关注的对象 , 究其原因是因为在芯片制造产业链中包含着非常复杂的过程 , 而在这个过程中需要用到的技术有很多 , 诸如离子注入机、等离子蚀刻机、反应离子刻蚀系统等 。
【还有6个月,国产光刻机关键时刻来临!】在这些技术中 , 有些我国企业已经走在了世界领先水平 , 例如上海中微半导体设备公司研发的等离子刻蚀机已经达到了3nm水准 , 处于世界一线水平 。
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但是 , 有些技术却存在短板 , 其中水平最低的就是光刻机 , 这也是光刻机备受关注的根本 , 但是 , 这种情况其实不光是存在我国市场 , 当下全球除了荷兰、日本之外 , 其他地区也同样无法造出高精度光刻机 , 甚至老美在光刻机制造领域的技术还比不上我们 。
因为 , 目前上海微电子已经可以批量生产用于制造90nm芯片的光刻机了 , 这是除了荷兰ASML、日本尼康、佳能之外 , 比较先进的水平 。
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并且 , 在2020年上海微电子还传出消息显示 , 将在2021年到2022年交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机 。 这也就意味着我国在芯片制造领域又迈进了先进一步 。
而距离2022年底还有6个月 , 这六个月任何时候28nm国产光刻机的问世 , 都代表国产光刻机的关键时刻来临 , 因为一旦28nm光刻机国产化 , 伴随着华为芯片堆叠技术以及中芯国际的代工技术 , 华为的麒麟芯片将重新复苏 , 同时也让我国芯片设计企业更有底气 。
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所以说 , 28nm光刻机的问世的确意义重大 , 而之所以没有说在短时间追求14nm或者更高工艺的光刻机 , 本质上并非是我国企业的技术不行 , 而是供应链的问题 , 这也是之前ASML公司敢说把图纸给我们 , 也造不出EUV光刻机的原因 。
因为EUV光刻机的零部件高达10万之众 , 而这些零部件绝大部分都是来源于不同地区的不同公司 , 例如极紫外光的光源来源于老美 , 而镜头来源于德国莱卡 。
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所以说 , 更多的时候 , 可能是我国企业的制造技术已经成熟 , 只是受限于供应链不够完善 , 才出现了光刻机技术发展缓慢的问题 , 而当下我国突破EUV光刻机的核心办法 , 除了加强光源技术的突破之外 , 还在不断培养国内相关供应链企业的崛起 , 因为只有国内众多企业的合力才能够快速解决EUV光刻机的问题 。
至于ASML公司认为我国造不出EUV光刻机 , 其实是太低估我国企业的实力了 , 就拿上海微电子来说 , 虽然光刻机的发展进度有些慢 , 达不到世界一流水准 , 但是上海微电子的跨步还是非常快的 , 从280nm再到110nm再到90nm , 以及接下来的28nm , 相信很快就可以推进到14nm 。

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